規(guī)格參數(shù)：
測(cè)量范圍：
X向行程：200㎜ 圓工作臺(tái)直徑：φ213㎜
Y向行程：100㎜ 平工作臺(tái)尺寸（㎜）：260×270
測(cè)角目鏡角度分劃范圍：360° 頂針間的*大夾緊長(zhǎng)度：700㎜
螺紋輪廓目鏡角度分劃范圍：±7° 頂針間能容納的*大直徑：φ100㎜
圓工作臺(tái)角度分劃范圍：0°~360° 高頂針架*大夾緊長(zhǎng)度：200㎜
圓分度頭角度分劃范圍：0°~360° 高頂針架能容納的*大直徑：φ250㎜
主顯微鏡立柱的傾斜范圍：±12° 干涉狹縫旋轉(zhuǎn)范圍：±90°
分度值：
X、Y向分度值：0.0002㎜ 圓工作臺(tái)角度分度值：30″
測(cè)角目鏡角度分度值:1′ 圓分度頭角度分度值：1′
輪廓目鏡角度分度值：±12 主顯微鏡立柱傾斜角度分度值：30′
測(cè)量準(zhǔn)確度（被測(cè)件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內(nèi)溫度20℃±1℃）：
(1+L/100)μm，其中L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位：㎜
物鏡放大率，工作距離及視場(chǎng)直徑：
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物鏡放大率 |
總放大率 |
工作距離（㎜） |
視場(chǎng)直徑（㎜） |
|
1× |
10× |
≈79 |
≈26.70 |
|
3× |
30× |
≈69 |
≈6.7 |
|
5× |
50× |
≈49 |
≈4 |
光學(xué)定位器的主要技術(shù)參數(shù):
測(cè)桿垂直方向擺動(dòng)范圍:±3° 定位變動(dòng)性：＜1μm
孔徑大于5㎜時(shí)，可測(cè)孔的*大深度：≈15㎜ 測(cè)力（N）：0.1±0.03
測(cè)量范圍(㎜):5-200
儀器主機(jī)外形尺寸(㎜)長(zhǎng)×寬×高=1300×1250×80
儀器主機(jī)重量：450㎏
